窒化ケイ素の合成は、1857 年にアンリ・エドゥアール・サン-クレア・デヴィルとフリードリッヒ・ヴェーラーによって初めて報告されました。合成では、シリコンを含むるつぼを炭素で満たされたるつぼの中に置き、酸素の侵入を減らすために加熱しました。彼らは窒化ケイ素と呼ばれる製品を報告しましたが、その化学組成を決定することはできませんでした。
1879 年、Paul Schutzenberger は、ライニング材 (木炭、練炭、またはコークスと粘土を混合して作られる、るつぼのライニングとして使用できるペースト) と混合したシリコンを高炉内で加熱することによって生成物を調製し、Si3N4 の組成を持つ化合物として報告しました。 1910 年、ルートヴィヒ ヴァイスとテオドール エンゲルハルトは、純粋な窒素中で元素シリコンを加熱することによって Si3N4 を調製しました。 1925 年に、フリーデリヒとシッティヒは、炭素の熱還元を利用して、窒素雰囲気中で二酸化ケイ素と炭素を 1250 ～ 1300 度に加熱することにより、窒化ケイ素を合成しました。