窒化シリコンのその他の用途

窒化シリコンセラミック材料は、熱安定性、酸化抵抗、高次元精度などの優れた特性を持っています。窒化シリコンは結合強度が高い共有化合物であり、空気中に酸化物保護膜を形成できるため、化学物質の安定性も良好です。 1200度未満の温度で酸化することはなく、1200〜1600度で形成された保護膜はさらなる酸化を防ぐことができます。アルミニウム、鉛、スズ、銀、真鍮、ニッケルなどの溶融金属や合金に浸透しませんが、マグネシウム、ニッケルクロミウム合金、ステンレス鋼などの溶融液体で腐食する可能性があります。

窒化シリコンセラミック材料を使用して、高温工学部品、冶金産業の高度な耐火物、化学産業の耐腐食性部品とシーリング要素、および機械産業のナイフと切削工具を作ることができます。

窒化シリコンは、炭化シリコン、酸化アルミニウム、二酸化アルウム、窒化ホウ素などと強い結合を形成できるため、結合材料として使用し、さまざまな比率で修飾できます。

さらに、窒化シリコンは太陽電池で使用できます。窒化シリコンフィルムがPECVDによって沈殿した後、インシデント光の反射を減らすために反反射フィルムとしてだけでなく、窒化シリコンフィルムの堆積プロセス中にも、反応生成物からの水素原子がニトリドシリコンフィルムとシリコンフェルファーに入り、ディフェクタイビーターの役割を果たします。窒化シリコンにおける窒素原子の比は、厳密に4：3ではありませんが、さまざまなプロセス条件に応じて特定の範囲で変動します。異なる原子比に対応するフィルムの物理的特性は異なります。超高温ガスタービン、航空機エンジン、電気炉などに使用されます。