金属シリコンパウダーを作るのは非常に簡単です。一定量の粗いシリコンパウダーを不活性ガスを備えたプラズマアークに配置し、高温に加熱して、シリコンパウダーがシリコン蒸気に変わります。次に、この蒸気を冷却し、ナノレベルの金属シリコンパウダーに変換します。
化学蒸気堆積方法：多くの水素と光または光が使用されると、シランはシリコンと水素に分割されます。それはすぐにナノシリコンパウダーが得られるガスに変わります。
ボール研削方法：大きなシリコン材料は、粒子間の摩擦と衝突を使用する機械を使用して、ナノサイズの粉末に粉砕されます。ボールグラインドシリコンメタルパウダーには高い不純物含有量があり、粒子サイズ分布は十分に制御できず、その後の処理は比較的面倒です。