シリコン金属粉末の製造は非常に簡単です。一定量の粗いシリコン粉末を不活性ガスプラズマアークに入れて高温に加熱するだけで、シリコン粉末がシリコン蒸気に変わります。この蒸気は冷却され、ナノレベルのシリコン金属粉末になります。
化学蒸着法: 水素が豊富で熱または光が使用されると、シランはシリコンと水素に分解されます。それはすぐに気体になり、そこからナノシリコン粉末が得られます。
ボール粉砕法：粒子間の摩擦と衝突を利用して、より大きなシリコン材料を機械によってナノサイズの粉末に粉砕します。ボール粉砕によって製造された金属シリコン粉末は不純物含有量が高く、粒度分布を十分に制御することができず、その後の処理が比較的煩雑です。