窒化ケイ素セラミックスの製造方法には反応焼結法とホットプレス法があります。反応焼結法とは、シリコン粉末、またはシリコン粉末と窒化ケイ素粉末の混合物を一般的なセラミックスの製造方法に従って成形する方法である。その後、窒化炉で1150~1200度の温度で予備窒化を行います。ある程度の強度が得られた後、機械加工を行った後、完全に窒化ケイ素になるまで1350〜1450度で18〜36時間窒化処理を行います。
このようにして作られた製品は、正確なサイズと安定したボリュームを備えています。ホットプレス法は、少量の添加剤(MgO、Al2O3、MgF2、AlF3、Fe2O3など)を加えた窒化ケイ素粉末を19.6MPa以上の圧力、1600〜1700度の温度で加熱プレスし焼結する方法です。一般に、ホットプレスで製造された製品は、反応焼結で製造された製品よりも密度が高く、性能が優れています。

